在多晶硅生產過程中，還原爐尾氣過濾器如何選型始終是一個難點，如過濾器及過濾面積選擇不當，將會導致過濾器堵死或硅粉過濾不徹底，影響下游工藝設備，從而嚴重影響系統的穩定運行。由于多晶硅行業尾氣粉塵具有顆粒細小、溫度高、硬度高、有耐磨性等特點，目前使用效果較好的是本體采用316L材料、濾芯采用316L金屬燒結氈制成的過濾器。此過濾器可設置成手動反吹或自動反吹。
♦ 硅粉輸送工序尾氣過濾。
♦ 三氯氫硅合成工序合成氣過濾。
♦ 三氯氫硅還原工序尾氣過濾。
♦ 四氯化硅氫化工序尾氣過濾。
♦ 焚燒尾氣過濾。
♦ 其它。
| 1、氣體精密過濾器 | 2、天燃氣精密過濾器 |
| 3、液體精密過濾器 | 4、袋式過濾器 |
| 5、多晶硅過濾器 | 6、保安過濾器 |
| 7、精密過濾器濾芯 |
| 工藝參數 |
氣 相：氫氣、氮氣或其它99.9%；固相：冶金硅粉0.1%（重量） 顆粒粒度：40~100目 |
| 設計性能 |
過濾效果：固體去除率99.9% 清灰設計：在線分區脈沖反吹（低壓系統） 離線分區脈沖反吹（高壓系統） |
| 工藝參數 |
氣 相：（wt%）H2（1.6%），HCl（3.3%），SiH2Cl2（3.5%） SiCl4（13.6%），SiHCl3（77.8%） 固 相：Si 粉（0.3%,max:1%） 工作溫度：～200℃；工作壓力：0.6Mpa 過濾精度：10µm |
| 設計性能 |
過濾效果：固體去除率99.9% 濾 芯：316L，10µm 清灰設計：有備用，離線反吹或在線分區反吹；反吹氣：氫氣 |
| 工藝參數 |
氣 相：(mol%）H2（78.96%），HCl（0.64%）， SiH2Cl2（1.82%）,SiCl4（7.16%），SiHCl3（11.4%） 固 相：無定型 Si 粉 工作溫度：～200 ℃；工作壓力：～0.6Mpa 過濾精度：1µm |
| 設計性能 |
過濾效果：固體去除率99.9% 濾 芯：316L，1µm 清灰設計：有備用，離線反吹或在線分區反吹；反吹氣：氫氣 |
| 殼體材質 | 20#、低溫鋼、不銹鋼、雙相鋼、鈦合金、內襯PO、內襯四氟、2205等各種特殊材質 |
| 過濾器壓力 | 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa，最高至25.0Mpa |
| 溫度范圍 | -280℃~+2000℃ |
| 接管口徑 | DN15~DN1500mm |
| 連接方式 | 法蘭連接、快裝連接、螺紋連接、對焊連接 |
| 濾芯材質 | 不銹鋼、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、鈦合金、陶瓷等各種濾芯 |
| 過濾精度 | 0.001um~500um |
| 濾芯長度 | 250mm、500mm、750mm、1000mm或客戶指定長度 |
| 進出口方位 | 上進下出、上進側出、左進右出、下進上出等各種型式 |
| 過濾器可選配件 | 壓差計、變送器、安全閥、電動（氣動）排污閥、放空閥、液位計 |
| 墊片 | 聚四氟乙烯墊片、橡膠墊片、金屬內外環墊片、金屬石墨墊片或客戶指定 |
| 過濾器外面處理 | 采用內外拋光處理，達到衛生級標準，也可噴砂處理。 |
| 上海慶工建議客戶最好來電咨詢，我們的工程師會免費根據貴公司的工況及參數選擇最合理的過濾器 |
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訂貨時請標注如下參數：型號、口徑、材質、壓力、法蘭標準、過濾精度、數量，如客戶對產品有特殊要求，請在詢價時一并提出。
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